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精修離子束系統

精修離子束系統

簡要描述:Technoorg Linda 精修離子束系統的低能氬離子槍(GIB) 適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧 化物表面層。 當低能氬離子槍集成到掃描電鏡中時 ,其作用尤為明顯。有了集成離子槍 ,就可以在研究之前對樣品 進行精修。 實現高質量樣品的另一個重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統中進行 FIB 樣品制備后,對 TEM 樣品進行拋光和溫和的表面清潔。

產品型號: GIB

所屬分類:臺式離子研磨拋光儀

更新時間:2024-12-26

廠商性質:其他

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GIB 精修離子束系統

用于掃描電鏡 / 雙束電鏡的氬離子束方案


精修離子束系統

Technoorg  Linda  精修離子束系統的低能氬離子槍(GIB 適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧 化物表面層。 當低能氬離子槍集成到掃描電鏡中時 ,其作用尤為明顯。有了集成離子槍 ,就可以在研究之前對樣品  進行精修。 實現高質量樣品的另一個重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統中進行 FIB 樣品制備后,TEM 樣品進行最 終拋光和溫和的表面清潔。


可與掃描電鏡集成

帶波紋管的傳輸系統可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連 接管輸出法蘭的尺寸與相應的 SEM 端口尺寸相匹配。通  過線性傳輸系統提供的離子源流動性,可實現理想的工作 距離(15-30 mm)。

低能量氬離子槍

低能量離子槍的直徑和長度均為  50mm。氬離子束的能 量范圍:100eV - 2kV。 2kV 時的最大束流為 70µA。離 子束為寬束,半最大全寬(FWHM)為 2mm。

半管支架

低能量離子槍安裝在半管支架中。












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